橢偏儀 型號:SE400
主要用途、功能及特點
SE400型橢偏儀具有穩(wěn)定的機械設(shè)計，可快速而精確地進行測量；SE400型橢偏儀基于WINDOWS 的操作軟件具有下拉菜單、幫助功能以及應(yīng)用材料庫，該完整的軟件包可方便地用于計算襯底、單層和多層薄膜的n(折射率)，k(消光系數(shù))和d(薄膜厚度)等參數(shù)。▪ 各種信息功能材料和器件的光學(xué)常數(shù)測量和光譜學(xué)特性分析▪ 薄膜材料的表面、界面特性、厚度以及粗糙度分析▪ 借助光學(xué)常數(shù)，對信息功能材料的組份進行測量和分析▪ 半導(dǎo)體材料的實時、在線工藝質(zhì)量檢測、評估和分析▪ 用于研究和教學(xué)目的，各種光學(xué)偏振狀態(tài)的測量、試驗和分析
主要技術(shù)參數(shù)
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標(biāo)準(zhǔn)光源波長 |
632.8nm |
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單層透明薄膜厚度可測量范圍 |
0 ~ 6000nm |
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吸光性薄膜厚度測量范圍 |
0 ~ 2000nm |
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薄膜厚度的測量精度 |
0.1nm |
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折射率測量精度 |
0.0005 |
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測量時間 |
250ms ~ 1.5s（用戶可選擇） |
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入 射 角 |
40° ~ 90°，（5°步進） |
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長期穩(wěn)定性(月) |
0.1°（Δ） |
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樣 品 臺 |
帶有真空吸盤的15cm 載物臺 |
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樣品校準(zhǔn) |
“ESA” 輕松的樣品校準(zhǔn) |
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帶有樣品傾斜和高度校準(zhǔn)的自動校準(zhǔn)鏡 | |
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軟 件 |
SENTECH公司的 SE400 橢偏儀軟件 |
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單膜的多角測量和厚度分析 |
厚度和折射率 |
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單膜的厚度、折射率和消光系數(shù) | |
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數(shù) 據(jù) 庫 |
632.8nm 的折射率 |
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附加選項 |
用于樣品同步校準(zhǔn)與檢測的攝像機 |
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30µm 微區(qū) | |
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可選波長：0.4µm，1.55µm | |
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自動聚焦，仿真軟件 |
