改進型膜厚探測儀 型號:FTP
主要用途、功能及特點
FTP 改進型膜厚探測儀結構嚴謹可靠，可快速而精確地測量透明或弱吸收膜的厚度和反射率(單層膜和多層膜)。廣泛用于半導體，玻璃，塑料箔，金屬薄片以及蠟光紙涂層領域，如: 半導體上的絕緣體；半導體上的半導體；硅上的聚合體；透明基材上的膜；金屬基材上的膜。FTP 改進型膜厚探測儀的軟件具有超大材料數(shù)據(jù)庫，強大的分析工具，以及良好的檢測報告功能。任何裝有Win 2000，WinXP，WinNT 操作系統(tǒng)的現(xiàn)代art PC 和局域網(wǎng)連接都可以使用。繪圖軟件顯示用戶定義圖案，統(tǒng)計數(shù)據(jù)以及圖形。▪ 薄膜材料的膜厚和反射率測量▪ 半導體材料的實時、在線工藝質量檢測、評估和分析▪ 用于研究和教學目的的試驗和分析
主要技術參數(shù)
FTPadv-1/FTPadv-2
厚度范圍 50nm ~ 25mm（FTPadv-2）
50nm ~ 20mm（FTPadv-1）
準確度 1nm（400nm SiO2/Si）
精確度 0.3nm（1s）（400nm SiO2/Si）
測量時間 300ms
光譜范圍 450…920nm（通常）
測量點 FTPadv-1：直徑80mm（10 x 鏡頭放大）
FTPadv-2：2 ~ 4mm
電源要求 100 ~ 240VAC, 50 ~ 60Hz, 1.0A
FTPadv-2
穩(wěn)定光源 鹵素燈，20W
