電子薄膜應(yīng)力分布測試儀 型號(hào):BGS 6341
主要用途、功能及特點(diǎn)
該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點(diǎn)數(shù)多，能給出全場面型分布結(jié)果，適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗(yàn)和微電子生產(chǎn)工藝研究。儀器基于干涉計(jì)量的全場測試原理，可實(shí)時(shí)觀測面型的分布，迅速了解被測樣品的形貌及應(yīng)力集中位置，及時(shí)淘汰早期失效產(chǎn)品。▪ 國際首創(chuàng)的錯(cuò)位相移技術(shù) ▪ 計(jì)算機(jī)自動(dòng)條紋處理 ▪ 測試過程全自動(dòng) ▪ 先進(jìn)的曲面補(bǔ)償測試原理
主要技術(shù)參數(shù)
最大樣品尺寸 ≤ 100 mm （4英寸）
曲率范圍 | R | ≥ 5 m
測試精度 5%
單片測量時(shí)間 3 分鐘/片
結(jié)果類型 面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能 三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電 源 AC 220V±10%，50Hz±5%
最大功耗 100W
外型尺寸(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重 量 36kg
工作溫度 +10℃ ~ +40℃
存貯溫度 -40℃ ~ +70℃
電磁兼容性 符合 GJB 3947-2000中3.10條的規(guī)定要求
安 全 性 符合 GJB 3947-2000中的規(guī)定要求
可 靠 性 MTBF(θ0)≥2000小時(shí)
